Der Hauptunterschied zwischen Mikroanalyse und Halbmikroanalyse besteht darin, dass die Mikroanalyse zur Analyse von Material mit einer Masse von weniger als 10 mg verwendet wird, während die Halbmikroanalyse zur Analyse von Material mit einer Masse von etwa 100 bis 500 mg verwendet wird.
Mikro- und Halbmikroanalyse sind zwei Arten der qualitativen Analyse, dh die Analyse von Material anhand ihrer Eigenschaften anstelle ihrer Mengen. Die Mikroanalyse bezieht sich auf die Analyse von Material mit Partikelgrößen im Mikromaßstab. Für die Mikroanalyse können verschiedene Methoden verwendet werden. Die Halbmikroanalyse ist dagegen eine entwickelte Methode der Mikroanalyse.