Der Hauptunterschied zwischen PVD und CVD besteht darin, dass das Beschichtungsmaterial in PVD in fester Form vorliegt, während es in CVD in gasförmiger Form vorliegt.
PVD und CVD sind Beschichtungstechniken, mit denen wir dünne Filme auf verschiedenen Substraten abscheiden können. Die Beschichtung von Substraten ist bei vielen Gelegenheiten wichtig. Eine Beschichtung kann die Funktionalität des Substrats verbessern; Einführung neuer Funktionen in das Substrat, Schutz vor schädlichen äußeren Kräften usw. Dies sind wichtige Techniken. Obwohl beide Prozesse ähnliche Methoden aufweisen, gibt es nur wenige Unterschiede zwischen PVD und CVD. Daher sind sie in verschiedenen Fällen nützlich.